硅光模块超声波清洗机 VGT-603FTA
硅光模块是什么，简单的说，就是利用硅光子技术在硅芯片上集成了光电装换和传输模块。是在硅基平台上将微电子和光电子结合起来，构成新的硅光器件。
分解硅光模块：
硅光是以光子和电子为信息载体的硅基电子大规模集成技术。
光模块的核心组件之激光器芯片。光模块是由多种光学器件封装而成，其中内部组件中激光器芯片是比较关键的部分，占光模块成本的60%，主要影响光模块的传输距离。
目前100G光模块已打开了硅光技术的大门，但其发展仍然面临一些挑战。
硅光子工艺流程：
多层刻蚀→P/N体注入→多晶硅耦合→P/N+型注入→金属硅化物→锗生长→后段工艺→开窗。
超声波清洗机清洗芯片：
超声波清洗机是一种通过超声波来清洗物品的设备，他的工作原理是：
1、生产超声波：超声波清洗机会通过超声波发生器生成超声波，超声波是一种高频声波，频率在人类听觉范围之外。
2、传递超声波：超声波发生器会把生成的超声波通过超声波传送装置传递到清洗槽中。
3、刺激清洗液：超声波在清洗液中传播时，会在液体中产生许多小的气泡，这些气泡会在一定周期内破裂，产生许多的小气泡冲击波。
4、清洗物品：小气泡冲击波会对物品产生冲击和摩擦，从而帮助清除物品上残留的杂质。
威固特VGT-603FTA自动智能式超声波清洗机是半导体行业清洗产品的选择之一：
清洗设备共有6个功能槽，配置有自动恒温系统、触摸屏系统、抛动系统、超声波清洗系统、喷淋系统、溢流系统、自动智能式机械手系统、上下料系统等。设备采用水幕式喷淋系统、纯水漂洗，为环保型清洗机。
清洗流程是自动上料→1回用纯水超声+喷淋漂洗（抛动）→2回用纯水超声（抛动）→3纯水超声（抛动）→4纯水超声（抛动）→5DI纯水超声（抛动）80K→6DI纯水超声（抛动）120K→手动下料。
VGT-603FTA自动智能式超声波清洗机配的纯水漂洗槽对芯片高要求的清洗，占有一定的优势。结构是每槽设四面溢流口，溢水槽宽35mm。各槽底部设排液阀，槽外设置抛动。
VGT-603FTA自动智能式超声波清洗机喷淋系统能清洗到芯片的每个平面与角落：
1、在槽体的左右两侧、前后两面及顶部各设置二把喷淋系统，喷淋系统直接作用于工件。
2、市水或其他水源由管路亦可直接进入喷淋槽储液箱（可转换装置）。
3、每把喷淋系统上安装6个不锈钢喷嘴。
4、喷淋系统由喷淋管和喷嘴组成。
5、喷淋为“水幕式”喷淋，效果更好、清洗更彻底。
6、配有储液箱系统。
7、喷淋系统，第一槽配备，其他各槽无。
8、喷淋泵为“南方”不锈钢水泵。
9、喷淋泵与喷淋管相连，喷淋泵工作时产生压力作用于工件，形成完整的喷淋系统。
10、配置有液位安全控制系统，当液位低时，喷淋泵不工作。
11、喷淋泵前装有球阀，调节水量。
VGT-603FTA自动智能式超声波清洗机机械手机构：
1、工件提升及横移机构，由自动智能式机械手完成。
2、提升机构是由电机带动链条传送实现工件的提升下降运动。
3、横移机构的电机采用“松下”伺服马达，速度变频可调。
4、为保证清洗工件及清洗液的洁净，传动机构不位于洗净工件的上部，可避免输送时金属磨耗粉、润滑油等掉落。
5、后部传动机构与前部溶剂清洗区域用隔板分开，防止后部传动粉尘进入前部。
